一、通用气路结构
标准气路走向（从左到右）
工艺取样点 → 减压阀 / 稳压 → 过滤器 → （干燥 / 旁通） → 流量控制 → 传感器 → 排气
通用部件
进气口：接工艺管线 / 钢瓶
减压阀 / 稳压阀：高压样气减压至 0.02～0.15 MPa
过滤器（0.1～7μm）：除粉尘、油雾，保护传感器
三通 / 切换阀：测量 / 干燥 / 旁通
流量计 / 针阀：控制流量 0.1～0.5 L/min
传感器室：核心检测单元
排气口：直排或回收
二、电解法（P₂O₅）微量水分仪气路（最常用）
气路走向（双路：测量 + 干燥）
样气入口 → 减压阀 → 过滤器 → 三通阀
三通阀（干燥位） → 干燥管（分子筛） → 电解池（P₂O₅） → 排气
三通阀（测量位） → 直接 → 电解池（P₂O₅） → 排气
旁通支路：大流量快速吹扫，缩短稳定时间
示意图
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样气 → 减压阀 → 过滤器 → ┌──────────────┐ │ 三通/切换阀 │ └───┬──────┬────┘ │ │ ┌──────────┘ ┌──┴───────────┐ │ │ 干燥管(分子筛) │ │ │ └─────┐ ┌───┘ │ │ ▼ ▼ 电解池（P₂O₅） │ ▼ 流量计 │ ▼ 排气
特点
双气路：测量 / 干燥切换
开机先干燥：N₂/ 干气吹扫电解池
流量：100～300 mL/min
适用：高纯气体、腐蚀性气体（Cl₂、HCl、SO₂）
三、冷镜式（露点）微量水分仪气路
气路走向
样气 → 减压 → 过滤 → 流量控制 → 冷镜室（镜面 + 光电 + 制冷） → 排气
示意图
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样气 → 减压 → 过滤 → 稳流 → 冷镜测量室 → 排气
特点
单路直通，无干燥支路
镜面需恒温、防污、防雾
流量：0.3～0.8 L/min
适用：高精度、标准传递、洁净干气
四、阻容 / 电容法（氧化铝 / 聚合物）气路
气路走向
样气 → 减压 → 过滤 → 流量 → 电容传感器 → 排气
示意图
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样气 → 减压 → 过滤 → 针阀/流量计 → 电容传感器 → 排气
特点
最简单路，体积小、便携
流量：0.4～0.7 L/min
适用：现场快速检测、空分、天然气、SF6
五、三种气路对比（一眼看懂）
表格
| 原理 | 气路结构 | 流量 | 干燥吹扫 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| 电解法（P₂O₅） | 双路（测量 / 干燥）+ 旁通 | 100～300 mL/min | 必须（开机 / 停机） | 高纯、腐蚀、微量（ppb～ppm） |
| 冷镜式 | 单路直通 | 300～800 mL/min | 不需要 | 高精度、标准、洁净气体 |
| 阻容 / 电容法 | 最简单路 | 400～700 mL/min | 不需要 | 便携、现场、一般工艺气 |
六、关键气路要点
压力：入口 0.02～0.15 MPa，出口常压排气
流量稳定：波动 <±5%
无泄漏、无死体积：用 不锈钢 / PTFE 管、内抛光、少接头
预处理：
含尘：7μm 过滤器
含油：除油过滤器
高温：伴热 / 冷却（防冷凝）
开机流程：先通气吹扫 10～30 min → 再通电
停机流程：先切干气 / N₂吹扫 → 再断电
七、典型便携式仪器（SF6 微水仪）气路
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设备取样口 → 减压阀 → 仪器进气 → 过滤 → 流量阀 → 传感器 → 排气
